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多功能智能椭偏测厚仪

2006年 应用技术
  • 成果简介
本仪器是一种用于精确测量固体表面纳米级薄膜厚度和折射率以及金属折射率的智能化仪器，在半导体、光学、金属材料、化学和生物等领域有广泛的应用，也适合于高等学校近代物理实验教学。本仪器已通过技术鉴定，获教育部优秀教学仪器奖。
主要性能指标：1、测厚准确度：±O.1nm(膜厚在1Onm以下)、±0.5nm(膜厚在10～1OOnm)；2、椭偏参数Φ和A的重复精度分别为±0.1°和...
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